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伯東 KRI 考夫曼射頻離子源在 PCB 鉆頭銑刀上的應(yīng)用

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   電子工業(yè)的飛速發(fā)展對線路板制造業(yè)的要求越來越高, 線路板層數(shù)越來越高, 孔密越來越大并向微孔化不斷發(fā)展, 某國內(nèi)制造商為了銑刀進行銑邊及成型加工時, 減少產(chǎn)品的披鋒、毛刺及銑刀斷刀, 采用伯東 KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP 380輔助鉆頭銑刀上鍍膜.

 

該制造商的真空離子鍍膜技術(shù), 利用 KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP 380 轟擊靶材形成離子, 并使離子在強磁場的驅(qū)動下吸附于鉆頭或鑼刀上形成鍍層, 制備出鍍膜鉆頭及鍍膜銑刀.

用于濺射的 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):

portant;">

射頻離子源型號

portant;">

RFICP 380

portant;">

Discharge 陽極

portant;">

射頻 RFICP

portant;">

離子束流

portant;">

>1500 mA

portant;">

離子動能

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

30 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

聚焦

portant;">

流量

portant;">

15-50 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長度

portant;">

39 cm

portant;">

直徑

portant;">

59 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

 

推薦理由:

聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

 

運行結(jié)果:

  1. 結(jié)果表面, 采用鍍膜鉆頭, 可以明顯增加鉆孔孔限, 減少披鋒, 節(jié)約成本;
  2. 采用鍍膜銑刀進行銑邊及成型加工時, 有利于減少產(chǎn)品的披鋒、毛刺及銑刀斷刀, 提高生產(chǎn)效率及節(jié)約成本
 
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

 

 

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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