該廠商采用雙離子源濺射沉積系統(tǒng), 其中一個(gè)離子源采用伯東 KRI 聚焦射頻離子源 RFICP 380 對(duì)靶材進(jìn)行濺射, 另一個(gè)離子源采用伯東 KRI 平行考夫曼離子源 KDC 100 對(duì)樣品進(jìn)行離子刻蝕.

其工作示意圖如下：

用于濺射的 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):

推薦理由：

聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

用于刻蝕的 KRI 平行考夫曼離子源 KDC 100 技術(shù)參數(shù)：

* 可選: 可調(diào)角度的支架

推薦理由：

使用 KRI 平行型射頻離子源 RFICP 100 可以準(zhǔn)確、靈活地對(duì)樣品選定的區(qū)域進(jìn)行刻蝕, 可以使大口徑光學(xué)元件 KDP 晶體表面更均勻

運(yùn)行結(jié)果:

1. 濺射沉積的KDP晶體表面的均勻性在5%以內(nèi), 刻蝕均勻性在5%以內(nèi)

2. 離子束刻蝕可以消除KDP晶體表面周期性刀痕

3. KDP晶體表面粗糙度降低到1.5nm,達(dá)到了預(yù)期目的

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東: 羅先生                               臺(tái)灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
[email protected]                      [email protected]
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!